Statistical method to strengthen the analysis of optical properties of materials at sub-micron scale

L'imagerie ellipsométrique permet de déterminer les propriétés optiques et structurelles locales des matériaux (épaisseur, indice de réfraction) à l'échelle (sub)micronique. Elle génère toutefois un grand nombre de données spectrales (hypercube) dont le traitement numérique peut s'avérer très coûteux en temps de calcul. Ce travail présente l'utilisation de procédures d'analyse statistique multivariée pour déterminer les pixels des images possédant la même réponse optique et réduire le temps nécessaire à l'inversion des équations ellipsométriques.